対酸化性，耐熱性，耐薬品性にすぐれたメチルフェニルシリコーンオイルです。
石油系や脂肪酸エステル系のポンプ油のように，熱や吸引ガスによるクラッキングを起こしません。
また，加熱状態で真空を破った時の酸化でガスが発生したり，酸，タール，ピッチ類を生成するような現象もほとんど起こしません。このため，長期にわたり安定した真空ポンプの運転を可能にします。
到達真空度は10^-7～10^-8Torr。液体窒素のトラップを用いれば，10^-10Torrまで真空度が向上します。
| 製造元 | 信越化学工業株式会社 |
| 化学組成 | 1,3,3,5-ﾃﾄﾗﾒﾁﾙ-1,1,5,5-ﾃﾄﾗﾌｪﾆﾙﾄﾘｼﾛｷｻﾝ |
| 到達圧力 (Torr) | 10^-7～10^-8 (1.3332×10^-5～1.3332×10^-6Pa) |
| 比重 (25℃) | 1.065 |
| 引火点 (℃) | 210以上 |
| 動粘度 (mm^2/s) | 37 (25℃) |
| 比熱 (J/g・℃) | 1.4 (25℃) |
| 製品荷姿 | 500ml缶 |
