対酸化性,耐熱性,耐薬品性にすぐれたメチルフェニルシリコーンオイルです。
石油系や脂肪酸エステル系のポンプ油のように,熱や吸引ガスによるクラッキングを起こしません。
また,加熱状態で真空を破った時の酸化でガスが発生したり,酸,タール,ピッチ類を生成するような現象もほとんど起こしません。このため,長期にわたり安定した真空ポンプの運転を可能にします。
到達真空度は10^-7~10^-8Torr。液体窒素のトラップを用いれば,10^-10Torrまで真空度が向上します。
製造元 | 信越化学工業株式会社 |
化学組成 | 1,3,3,5-テトラメチル-1,1,5,5-テトラフェニルトリシロキサン |
到達圧力 (Torr) | 10^-7~10^-8 (1.3332×10^-5~1.3332×10^-6Pa) |
比重 (25℃) | 1.065 |
引火点 (℃) | 210以上 |
動粘度 (mm^2/s) | 37 (25℃) |
比熱 (J/g・℃) | 1.4 (25℃) |
製品荷姿 | 500ml缶 |