対酸化性,耐熱性,耐薬品性にすぐれたメチルフェニルシリコーンオイルです。
石油系や脂肪酸エステル系のポンプ油のように,熱や吸引ガスによるクラッキングを起こしません。
また,加熱状態で真空を破った時の酸化でガスが発生したり,酸,タール,ピッチ類を生成するような現象もほとんど起こしません。このため,長期にわたり安定した真空ポンプの運転を可能にします。
到達真空度は10^-9~10^-10Torr。液体窒素のトラップを用いれば,10^-12Torrという超高真空を得ることができます。
製造元 | 信越化学工業株式会社 |
化学組成 | 1,3,5-トリメチル-1,1,3,5,5-ペンタフェニルトリシロキサン |
到達圧力 (Torr) | 10^-9~10^-10 (1.3332×10^-7~1.3332×10^-8Pa) |
比重 (25℃) | 1.097 |
引火点 (℃) | 240以上 |
動粘度 (mm^2/s) | 160 (25℃) |
比熱 (J/g・℃) | 1.325 (25℃) |
製品荷姿 | 500ml缶 |