高純度の拡散ポンプオイルです。より高い真空度に到達できます〈到達圧力6.7×10^-7Pa(5×10^-9Torr)以下〉。
排気スピードが速く,コンタミネーションの影響,油の逆流量が極めて少ないのが特徴です。また,油の作動温度が広いため,電力変化に対する圧力変化が小さいという利点があります。熱劣化に強く,より長い交換サイクルでの使用が期待できます。
製造元 | ライオン株式会社 |
化学組成 | アルキルナフタレン |
到達圧力(pa) | 6.7×10^-7 |
分子量 | ~408 |
比重(25℃) | 0.93 |
引火点(℃) | 235 |
動粘度(mm^2/s) | 35~39(40℃) |
比熱(cal/g(℃)) | 0.55(100) |
蒸発潜熱(kcal/mol)) | ~45 |
製品荷姿 | 1L缶 |