油回転式真空ポンプを停止させると，ポンプ内の油がチャンバー等真空装置側へ逆流するオイルバックが発生します。
これを防ぐには，ポンプが停止し，メインバルブが完全に閉止した後に，ポンプの吸気側を大気圧に戻す必要があります。
遅延真空電磁弁は，メインバルブとポンプとの間に設置するだけで，通常のON-OFF 時だけでなく，停電時も，真空装置側へのオイルバックを防ぐことができる遅延リークバルブです。
真空ポンプが停止し，メインバルブが完全に閉止するまでの間，ポンプ吸気側の真空破壊を遅らせることができるので，真空ポンプや真空装置を保護することができます。起動は真空ポンプの電源と連動させ，遅延時間は約1～8秒内で自由に設定できます。
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