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芝浦エレテック 遅延真空電磁弁(真空ポンプ用自動リークバルブ) DLV-2N(フィルタ,ゲージポート取付金具付)

油回転式真空ポンプを停止させると,ポンプ内の油がチャンバー等真空装置側へ逆流するオイルバックが発生します。
これを防ぐには,ポンプが停止し,メインバルブが完全に閉止した後に,ポンプの吸気側を大気圧に戻す必要があります。
遅延真空電磁弁は,メインバルブとポンプとの間に設置するだけで,通常のON-OFF 時だけでなく,停電時も,真空装置側へのオイルバックを防ぐことができる遅延リークバルブです。
真空ポンプが停止し,メインバルブが完全に閉止するまでの間,ポンプ吸気側の真空破壊を遅らせることができるので,真空ポンプや真空装置を保護することができます。起動は真空ポンプの電源と連動させ,遅延時間は約1〜8秒内で自由に設定できます。

芝浦エレテック 遅延真空電磁弁(真空ポンプ用自動リークバルブ) DLV-2N(フィルタ,ゲージポート取付金具付)

価格:

45,360円 (税込)

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製品仕様

 
■ メーカー 芝浦エレテック
■ 型式 DLV-2N
■ 弁形式 直動式2ポート弁(常開形)
■ 使用流体 空気・不活性ガス
■ 接続口径 Rc1/4(大気側&真空側)
■ 使用圧力範囲 1.3×10^-6〜10^5Pa(大気圧)
■ 耐圧力 0.5MPa(5気圧)
■ オリフィス Φ3.6mm
■ Cv値 0.45
■ リーク量 1.3×10^-9Pa/㎥/sec(HE)以下(弁シート部)
■ 周囲温度 0〜50℃(凍結なきこと)
■ 定格電圧 AC200/AC220V(50/60Hz共用)
■ 消費電力 AC200V 起動時19.5W 定常時3W(AC220V 起動時21.5W 定常時3.5W)
■ 電圧許容範囲 90〜110%
■ 遅延時間 約1〜8秒(出荷時 約4秒設定)
■ 頻度 1回/分 以下
■ 製品質量 0.8kg
■ フィルタ(50ミクロン),ゲージポート取付金具,取扱説明書

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